山东亚克力芯片 顶旭微控技术

常用的PDMS材料

常用的PDMS有两种，亚克力芯片，一种是迈图的PDMS RTV-615，一种是道康宁 PDMS Sylgard 184 。这两种材料的成分目前还属于商业秘密，不被外人所知，根据多年的经验，可以给出选择如何选用PDMS的一些建议：

迈图PDMS RTV-615：

1）制备微阀的sho选；

2）坚固，键合力强，试用于多层键合的芯片；

3）不耐脏，易脏。

道康宁PDMS Sylgard 184

1）较为清洁

2）适用于单层键合，不适合多层键合

3）多用于细胞培养、人ti器guan芯片

1.4 玻璃和聚合物材料对比

2 加工方式2.1 湿法腐蚀流道深度20um以上加工xiao率高，深宽比2:1以上。

玻璃芯片微细加工技术的基本过程包括涂胶、曝光、显影、腐蚀、去胶等步骤，根据流道条件可以选择湿法腐蚀和干法刻蚀，湿法腐蚀具有各向同性，干法刻蚀具有各向异性，目前，微流道玻璃芯片zui长用的是玻璃的湿法腐蚀。

玻璃湿法腐蚀流程：

2.2 激光加工

皮秒激光加工，流道线宽200um以上，精度要求低。

1 玻璃芯片材料

1.1光学玻璃

B270，易于加工，具有出色的耐化学性和光学特性，常用于科学仪器、眼镜和显微镜。

1.2石英玻璃

具有低热膨胀系数、耐化学性强、耐高温（zui高可达 900oC) 、具有优异的光学性能，如均匀性和高紫外线透射率，适用于微流体流动池、微反应器和紫外分光光度法检测的微流控芯片。石英玻璃 也比其他类型的玻璃更能抵抗热冲击。

1.3 硼硅玻璃

D263 和 Borofloat 33，提供了一种非常耐用和灵活的材料，可以抵抗ji端温度以及许多强化学物质，包括酸、盐溶ye、氯、氧化 和腐蚀性化学品。常见应用包括高精度镜头、实验室设备和 药品容器。